Сегодняшняя лекция посвящена микроскопии, а вернее методу атомно-силовой микроскопии. Лекция моя будет разбита
на несколько основных разделов, — в начале я расскажу об истории СЗМ (сканирующей зондовой микроскопии), сравню этот метод
с другими микроскопическими методами, затем перейду к принципу работы атомно-силового микроскопа (АСМ). Далее
я остановлюсь на изображениях полученных с помощью АСМ, и закончу эту лекцию перспективами
АСМ. Но сначала я хотел бы рассказать о лаборатории, где в данный момент я работаю.
 |
| Лаборатория электронной микроскопии и субмикронных структур.
| | | |
|
Лаборатория электронной микроскопии и субмикронных структур, входящая в состав Института физики полупроводников
СО РАН занимается исследованием атомных механизмов формирования поверхности и границ раздела
в полупроводниковых материалах, созданием и исследованием структур пониженной размерности для микро-
и наноэлектроники. Лаборатория ориентирована на исследование поверхности методами электронной микроскопии, суть
которой заключается в том, что пучок электронов, взаимодействуя с поверхностью, рассеивается на ней
и регистрирует её структуру, он может проходить образец насквозь — ПЭМ, или отражаться ОЭМ.
В лаборатории имеется уникальный сверхвысоковакуумный отражательный электронный микроскоп, позволяющий проводить
in-situ эксперименты с полупроводниковыми материалами и имеющий только один аналог в мире в Японии.
Также есть микроскопия высокого разрешения на базе ПЭМ Jeol-4000. В лаборатории есть целый ряд сканирующих
электронных микроскопов.
Лабораторией руководит доктор физ.-мат. наук Александр Васильевич Латышев. В 1999 году
он выиграл грант Миннауки и в лаборатории появился АСМ. Я работаю в группе
с такими же молодыми ребятами, Насимовым Дмитрием, Косолобовым Сергеем, Савенко Владимиром
(мы с Владимиром с огромной благодарностью вспоминаем А. С. Золкина, и с гордостью
говорим — мы вышли из подвала), Прозоровым Алексеем, Высоцким Романом и Белкиным Сергеем. Основным
направлением нашей деятельности является исследование поверхности кремния.
|
|  |
|
