Контактная мода.
- Топография. F=const.
- Измерение сил. Z=const.
- Измерение сил трения.
- Измерение локальной жесткости (модуляционная методика).
- Измерение сопротивления растекания.
Резонансная мода.
- Топография.
- Фазовый контраст.
- Магнито-силовая микроскопия.
- Электристатическо-силовая микроскопия.
Бесконтактная мода.
Литография.
- Механическая.
- Электрическая.
Достижения в мире АСМ
Специалисты из Massachusetts Institute of Technology и Stanford University предложили терабитную
плотность записи для ЗУ с помощью АСМ технологии при комнатной температуре и на воздухе (локальное
окисление на поверхности титана). Специалисты лаборатории Lindsay Florida Institute of Technology активно исследуют
ДНК и РНК с помощью метода АСМ. Специалисты Institute of Applied Physics and Microstructure Research
Center, University of Hamburg исследуют плёнки фуллеренов С60 на различных поверхностях.
В Laboratory of Applied Physics, Linkoping University (Швеция) изучается взаимодействие в полиэлектролитах.
Таким образом, очень разнообразная тематика может быть затронута в исследованиях с помощью метода сканирующей
силовой микроскопии.
О нас
В данный момент в лаборатории с помощью метода АСМ исследуется поверхность кремния после эпитаксии,
сублимации травления кислородом, после эшелонирования. С помощью АСМ были визуализированы моноатомные ступени
на поверхности кремния с индексами Миллера (111).
 |
| Моноатомные ступени на поверхности кремния.
| | | |
|
Перспективы
Как уже было сказано, метод Атомно-силовой микроскопии может быть использован для производства
ЗУ с терабитной плотностью записи. Так специалисты IBM разработали специальную матрицу кантилеверов
32х32 штуки, что позволяет одновременно проводить литографию тысячей кантилеверов. Метод позволяет узнать качественно
новую информацию не только о поверхности но и о приповерхностных слоях, — это
приведет к развитию диагностики в различных направлениях, — магнитная диагностика АСМ ,
электростатическая, электропроводная и т. п.
|
|  |
|
