Нанолитография наиболее важный метод создания устройств с нанометровыми размерами. Этот метод может использоваться для создания электронных схем, схем памяти с большой ёмкостью, сенсоров. Существует несколько методик при помощи которых можно провести нанолитографию, например, электронную литографию, рентгеновскую литографию и использовать атомно-силовой микроскоп.

Возможности электронной литографии достаточно широки. Представление о разнообразии форм и рисунков можно получить здесь или здесь о размерах. Итальянские исследователи предлагают посмотреть на их достижения. Развивается также новая литографическая техника, не связанная с “light coupling masks”. Игла атомно-силового микроскопа помогает окислению Ti, но уже в Бельгии. Субмикронные размеры элементов получают с помощью “Evanescent Near Field Optical Lithography” в Новой Зеландии.

Видно, из разнообразия государств представленных в ссылках, что заниматься нанолитографией можут позволить себе многие университеты.