| ||||
Смоделирована магнетронно-распылительная система, в которой эффективная область взаимодействия с подложкой увеличена вдвое по сравнению с уже существующими системами. На основе численных данных, полученных с помощью расчётов в программе Mermaid (ИЯФ СО РАН), построен опытный образец. Сняты характеристики индукции магнитного поля над поверхностью МРС, в зависимости от расстояния от центра системы. Проведён анализ экспериментальных данных с аналитическими расчётами. Эффективная индукция на высоте 9 мм составила 480 Гс, на высоте 11,5 мм 400 Гс, что полностью удовлетворяет требованиям эффективного распыления подложки. Полная версия работы (Word2003), Плакат | ||||
Исследована зависимость ионного тока источника на подложке, на расстоянии 2 см от источника, от напряжения блока питания и от тока блока питания. Зависимость линейно возрастает. ВАХ блока питания линейна. Замечен рост наночастиц в области зазора магнитопровода. Максимальное напряжение, которого получалось достигнуть, составляет 3 кВ, но это после тщательной обработки ионного источника. После длительной работы на напряжении около 2,5 кВ происходил пробой. Полная версия работы (Word7), Плакат | ||||
Поток частиц меди из плазмы полого катода исследован методом молекулярного пучка с осаждением на поверхность кремния. Установлено, что частицы меди размером десятки микрон покидают плазму катода в жидком состоянии и при взаимодействии с поверхностью образуют полые купола в результате десорбции газа. Наибольший поток зарегистрирован при давлении аргона p=3.5*10-2 Торр и токе разряда I=60 мА. Измерен электрический ток -Ik частиц, покидающих полый катод через отверстие в торцевой части, и получена его зависимость от давления газа и тока разряда. При давлении Ar 0.1 - 0.15 Торр и I=10 - 60 мA, Ik составил 0.05 - 6.8 мкA. Полученные плёнки Cu, Mo, Ta исследовались с помощью оптической, скани-рующей электронной микроскопии, рентгеновского анализа, методики обратно - рассеянных электронов. Отдельные опыты проведены с углеродом. Работа относится к физике газового разряда, плазмы и физике взаимодействия частиц с поверхностью. Полная версия работы (WinWord 1Mb) | ||||
Твердые углеводородные плёнки анализированы на эллипсометре типа ЛЭФ-3М (ИФП СО РАН). Данные получены в предположении, что плёнка является однородной гладкой структурой на гладкой подложке. Плёнки получены при взаимодействии ионов с поверхностью кремния. Использовался источник ионов с азимутальным дрейфом электронов (УАД) с максимальной плотностью тока 80 мкА/см2. Температура подложки изменялась во время напыления в пределах от 380 до 410ºC. Коэффициент преломления и толщина плёнки составили в среднем и , соответственно. При температуре 200ºC получены дисперсные плёнки. Плёнки, синтезированные при более высокой температуре, имеют более гладкую поверхность. Работа относится к физике роста тонких пленок и исследованию их структуры, а также физике ионных пучков. Полная версия работы (WinWord 29kb) | ||||
Представлены теоретические основы электролиза воды, а также элементы теории процесса горения водорода в кислороде. Приведены данные о спектрах продуктов горения пламени. Создана экспериментальная установка по генерации смеси водорода и кислорода, основанная на электролизе воды. Расход, поток газовой смеси 7мл/с. Получен спектр водородно-кислородного пламени с помощью монохроматора УМ-2 в диапазоне длин волн 4000-7500Å. Установлено, что в пламени присутствуют H2O, атомарный O и NO2. Нестабильность пламени по времени при измерении интенсивности вращательно-колебательной полосы H2O вблизи l =6457Å составляет примерно +10% и имеет характер случайных флуктуаций. Работа направлена на дальнейшее исследование характеристик пламени и относится к областям электрохимии, оптики и молекулярной физики. Полная версия работы (WinWord 30kb) | ||||
Работа посвящена экспериментальному определению влияния длины цилиндрического полого катода на вольт-амперную характеристику газового разряда в аргоне при давлении 8*10-2мм.рт.ст. Полый катод состоит из цилиндра, изготовленного из стальной нержавеющей сетки, внутри которого находится свободно перемещающийся изолированный от стенок латунный электрод (коллектор). Расстояние от катода до анода не менялось. Диаметр катода 34 мм, диапазон изменения длины полостиL: 0 ... 15,5 см. Получены вольт-амперные характеристики разряда при различных длинах катода, из которых установлено, что при напряжении между электродами = 520В зависимость тока на коллектор от L имеет максимум в диапазоне отношений длины катода к его диаметру 2 ... 3. Приводится теоретический расчет вольт-амперной характеристики, учитывающий ионизацию быстрыми электронами, образованными в катодном слое разряда. Для максимальной длины катода экспериментальная зависимость согласуется с теорией при коэффициенте вторичной ионно-электронной эмиссии g> 0,01. Дано качественное объяснение полученных результатов. Полная версия работы (WinWord 532kb), html-версия | ||||
| ||||